SVM maintient en stock une gamme complète de plaques de 150 mm. Veuillez voir ci-dessous les spécifications SEMI standards pour les plaques de production et d’essai. Chaque client a des spécifications uniques et SVM peut fournir des plaques qui répondent parfaitement à vos besoins.

Si vous ne voyez pas les plaques avec les spécifications dont vous avez besoin, veuillez CONTACTER SVM pour vous entretenir avec un membre éduqué et expérimenté de notre force de ventes.

Diameter 150 +/- 0.5 mm
Type / Dopant P/Boron
Orientation <100>+/- 1º
Resistivity 1 – 100 Ω-cm
Radial Resisivity Gradient
Oxygen
Carbon
Metals < 5 x E10 atoms/cm2
Thickness 675 +/- 25 μm
TTV <= 10 μm
GTIR
Bow / Warp <= 40 μm
Site Flatness (STIR)
Flats 1 SEMI Standard
Particle Count <= 50 @ >= 0.2 μm
Polished Single Side Polished or Double Side Polished
Etched Single Side Polished or Double Side Polished
*N type wafers available

* N type wafers available