SVMは様々なグレードと仕様の150mmウェハーをご用意しております。プライム及びテストグレードウェハーに関しては、下記のSEMI標準仕様をご確認下さい。さらに、SVMはお客様一人一人のニーズに合ったウェハーをご提供しています。

お探しの仕様が下記リストに見当たらない際は、SVMまでお問合わせ下さい 。経験、知識ともに豊富な営業担当者がご対応いたします。

直径 150 +/- 0.5 mm
タイプ/ドーパント P/Boron
方向 <100>+/- 1º
グレード テスト
抵抗率 1 – 100 Ω-cm
ラジアル抵抗率グラジエント(RRG)
酸素
炭素
金属 < 5 x E10 atoms/cm2
厚さ 675 +/- 25 μm
TTV <= 10 μm
GTIR
ボウ/ワープ <= 40 μm
サイトフラットネス
フラット 1 SEMI スタンダード
パーティクル・カウント <= 50 @ >= 0.2 μm
研磨 片面又は両面研磨
エッジ 片面又は両面研磨

 

N型ウェハーもご用意しております。