SVM은 모든 종류의 150mm 웨이퍼를 보유하고 있습니다. 아래의 프라임 및 테스트 등급 웨이퍼의 SEMI 표준 규격을 참조하시기 바랍니다. 모든 고객의 규격은 다르지만, SVM은 여러분들의 규격에 정확히 맞는 웨이퍼를 공급할수 있습니다.

만약, 필요하신 규격을 찾지 못하시면 SVM에 문의 를 하셔서 풍부한 경험과 지식이 있는 저희 영업 사원과 상담하시기 바랍니다.

직경 150 +/- 0.5 mm
타이프/불순물 P/보론
방향 <100>+/- 1º
등급 테스트
비저항 1 – 100 Ω-cm
방사성 비저항 변화
산소
탄소
금속물 < 5 x E10 atoms/cm2
두께 675 +/- 25 μm
TTV <= 10 μm
GTIR
보우/와프 <= 40 μm
사이트 평평도
플렛 1 SEMI 표준
파티클 갯수 <= 50 @ >= 0.2 μm
폴리쉬 한면 또는 양면연마
에치 한면 또는 양면연마

 

* N 타이프 웨이퍼도 공급 가능