SVM bietet eine breite Palette von diversen filmbearbeitungsmöglichkeiten an. Wir haben langjährige erfahrung mit filmen, von einzelnen film oder komplexen film beschichtungen. Unsere expertise umfasst die ablagerung thermischer verarbeitungen, LPCVD, PECVD, PVD, galvanik und verdunstung, wir können ebenso spezielle filmerarbeitungs lösungen für ihre spezifischen anforderungen anbieten.

Folgend finden sie eine Übersicht von SVM’s Standard Filmen:

  • Thermisches Oxid (SiO2)
  • CVD Oxid
  • Low k: Black Diamond®, Coral®, Spin On
  • Dickes (Dichtes) Oxid
  • Partikel Sensitives Oxid
  • PETEOS
  • Low Particle Teos
  • Silizium Carbid (SiC)
  • BPSG, PSG, USG
  • Polysilizium (Dotiert und Undotiert)
  • Unkristallisiertes Silizium
  • Photoresist: I-line, 248nm DUV, 193nm Dicker Photoresist
  • Oxynitrid (SiON)
  • LPCVD Nitrid
  • PECVD Nitrid
  • Nieder Spannungs Nitrid
  • Diamant
  • Diamanten Kohlenstoff (DLC)
  • Metalle: PVD, CVD, Elektropattiert(Galvanisiert), Verdampft(Verdunstet), Al, Ta, Ti, TiN, TiW, TaN, WN, Cr, Cu, Al-Cu, Ni, Ru, SiC, SiCN, A-Si, Pd, Co, NiSi, TiO2, Pt, Ag, Au, etc.

 

Bitte kontaktieren sie SVM für weitere informationen, um ihre aktuellen anforderungen zu besprechen.