SVM bietet alle stufen der wafer regenerierung an, von einer technisch fortgeschrittenen- geringen partikel, super flachen regenerierung, bis zum einfachen entfernen und polieren, das einen umgangs qualitäts wafer mit einer klar polierten Oberfläche produziert.

Wafer die durch das fortgeschrittene SVM regenerierungs programm laufen, charakterisieren erfolgreich 45nm partikel auf einer flächen ebenheit auf 0.13um.

Durch die verwendung von hochmoderner ausrüstung ist SVM in der lage, wafer mit einer minimalen menge von silizium-entfernungen (so niedrig wie 3um) und den höchsten erträgen in der branche zu regenerieren.

Bitte erkundigen sie sich bei SVM für eine quotation oder zusätzliche informationen der regenerierung betreffend.

Wafer Durchmesser:
50mm bis 300mm

Reclaim Typen:
Wiederverwertung

  • Alle Filme werden von dem wafer entfernt und chemisch gereinigt.
  • SVM kann auch Beläge wieder auftragen nachdem sie entfernt und der Wafer gereinigt wurde
    Strip and Kiss polish
  • Alle Filme werden entfernt, dann wird die Scheibe leicht poliert um etwaige Schäden, Rauheit oder Belags Rückstände von der Oberfläche zu entfernen.
  • SVM bietet einen qualifizierten Teilchen Reclaim Prozess bis auf 45nm an.

Ebenheit:
SVM ist in der Lage, Reclaimed Wafers mit außergewöhnlichen Ebenheits Ergebnissen durch den Einsatz von hochmoderner Ausrüstung zu returnieren.

  • SVM hat Reclaim Wafer für die Lithographie Anwendungen, die sehr strenge SFQR und STIR Messwerte haben
  • Flächen Ebenheit ist erzielt bis unter

Führende Entwicklung in der Oberflächentechnik: 

SVM hat einen qualifizierten Partikel Prozess für 200mm und 300mm Wafer bis hinunter zu 80nm und 45nm Defekte Größen in der Respektive.

SVM bietet 100% Messwert und Daten für jeden einzelnen Wafer an.

Weitere Vorteile des SVM Wafer Reclaim Programms:

Durchschnittliche Ertrag: 95%
Separate Cu Linien
Separate Au, Ag, Pt, Pd Rückforderungen
Low K Film und Hf02 Belags Entfernungsmöglichkeiten
Wafer “Fill-In” auf Anfrage
Wafer Regenerierungs Programme für jeden Budget

Bitte kontaktieren sie SVM für weitere informationen oder ihre aktuellen anforderungen zu besprechen.