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La ligne des produits de SVM comprend des plaques polies d’un seul côté (SSP) ainsi que des plaques polies des deux côtés (DSP). Les plaques double face polie sont typiquement utilisées dans les semi-conducteurs, MEMS, et autres applications où les plaques sont contrôlées très précisément pour leurs caractéristiques de planéité. Elles sont aussi utilisées dans les projets de fabrication de composants électroniques à motifs double faces.

SVM maintient un grand inventaire de plaques double face polie dans toutes les tailles allant de 50 mm à 300mm. Si nous n’avons pas votre spécification en stock, SVM peut fabriquer des plaques en fonction des spécifications requises. Les plaques double face polie sont disponibles en silicium, verre et autre matériel généralement utilisé dans l’industrie des semi-conducteurs.

 

Voici des exemples de produits standards de SVM :

Plaque de siliciumPlaque de silicium
Diamètre: 100 mmDiamètre: 200 mm
Type/dopant: N ou PType/dopant: N ou P
Orientation:Orientation:
Résistivité : 0-100 ohm-cmRésistivité: 0-100 ohm-cm
Épaisseur: 525 +/-20umÉpaisseur : 725 +/-20um
TTV: <8umTTV: <5um
STIR: disponible sur demandeSTIR: <2um
Planéité: 1 ou 2/ standard SEMIEncoche: standard SEMI
Polie des deux côtésPolie des deux côtés

 

Toutes les plaques de silicium de 300 mm sont polies des deux côtés. SVM offre des mesures de planéité de site de

Veuillez CONTACTER SVM pour plus d’informations sur les plaques double face polie ou pour nous entretenir de vos besoins spécifiques.