SVM offre une variété de solutions de traitement de films. Nous avons une longue expérience dans le dépôt de films à couche unique ou à couches complexes. Nos capacités de dépôt des couches comprennent un procédé thermal, LPCVD, PECVD, PVD, électrolytique ou évaporation et nous pouvons fournir des solutions de traitement sur mesure pour répondre à vos besoins spécifiques.

Voici la liste des films les plus répandus de SVM :

  • Thermal Oxide
  • CVD Oxide
  • Low k: Black Diamond®, Coral®, Spin On
  • Thick Oxide
  • Particle Sensitive Oxide
  • PETEOS
  • Low Particle Teos
  • Silicon Carbide (SiC)
  • BPSG, PSG, USG
  • Polysilicon (Doped and Undoped)
  • Amorphous Silicon
  • Photoresist: I-line, 248nm DUV, 193nm Thick Photoresist
  • Oxynitride (SiON)
  • LPCVD Nitride
  • PECVD Nitride
  • Low Stress Nitride
  • Diamond
  • Diamond-Like Carbon (DLC)
  • Metals: PVD, CVD, Electroplated, Evaporated, Al, Ta, Ti, TiN, TiW, TaN, WN, Cr, Cu, Al-Cu, Ni, Ru, SiC, SiCN, A-Si, Pd, Co, NiSi, TiO2, Pt, Ag, Au, etc.

Veuillez CONTACTER SVM pour plus d’informations sur les solutions de traitement des films de SVM ou pour nous entretenir de vos besoins spécifiques.