Le détrempage est une opération en fourneau à haute température qui relâche la tension du silicium en activant des dopants d’implant d’ions, réduisant les défauts de structure et la tension, et réduisant aussi la charge d’interface au niveau du silicium et dioxyde de silicium.

SVM offre des solutions de détrempage pour les plaques d’un diamètre allant de 25 mm à 300 mm. Nous fournissons des recettes de détrempage standard ou des solutions adaptées à vos besoins spécifiques.

La ligne de produits de SVM comprend:

  • Détrempage au nitrogène : du gaz nitrogène pur traverse la chambre de combustion avec les plaques. La chambre de combustion est alors chauffée à une température spécifique et pour une durée déterminée.
  • Détrempage avec mélange de gaz : Ce procédé est identique à celui du détrempage au nitrogène, cependant cette méthode utilise un mélange de gaz de 96% de nitrogène et 4% d’hydrogène.

Veuillez CONTACTER SVM pour plus d’informations sur le détrempage ou pour nous entretenir de vos besoins spécifiques.