SVM fournit tous les services de récupération de plaques de la faible particule techniquement avancée, récupération super plate au décapage et polissage le plus simple produisant des plaques pouvant être utilisées avec une surface polie claire. Les plaques qui passent par les programmes avancés de récupération de SVM se caractérisent avec succès de particules 45nm avec une planéité de 0.13um.

En utilisant un équipement de récupération ultra moderne, SVM est capable de récupérer des plaques en enlevant un montant minimal de silicium (aussi peu que 3um) ce qui représente un taux de rendement des plus hauts pour cette industrie. Veuillez contacter SVM pour obtenir un devis ou des informations complémentaires au sujet de la récupération de plaques.

Diamètre des plaques:
De 50 mm a 300 mm

Types de récupération :
Recyclage

  • Les plaques sont décapées de tous films et nettoyées chimiquement.
  • SVM peut aussi redéposer des films après le décapage et le nettoyage.

Polissage « Strip and Kiss »

  • Les plaques sont décapées de tous films et légèrement polies pour enlever tous défauts de surface, rugosité, ou résidu de film.

Récupération de particules

  • SVM offre un procède de récupération qualifié de particules jusqu’à 45 nm.

Planéité :

SVM a la capacité de renvoyer les plaques récupérées avec une planéité exceptionnelle grâce a l’utilisation d’un équipement ultra moderne.

  • SVM récupère les plaques pour des applications de lithographie en fournissant des relevés SFQR et STIR très précis.
  • Une planéité est facilement atteinte a < .13um

Développement de pointe dans la technologie des surfaces:

SVM a un procédé de récupération de particules qualifiées pour les plaques de 200 mm et 300 mm jusqu’a 80 nm et 45 nm de taille de défauts respectivement.
SVM fournit 100% des données et mesures pour chaque plaque.

Autres avantages des programmes de récupération de plaques de SVM :

Pourcentage de rendement moyen : 95%
Cu lignes séparées
Récupération séparée de Au, Ag, Pt, Pd
Film de faible K et solutions de retrait de films Hf02
Plaque “Fill-In” sur demande
Nos programmes de récupération de plaques conviennent à tous types de budgets.

Veuillez CONTACTER SVM pour plus d’informations sur la récupération ou pour nous entretenir de vos besoins spécifiques.