SVM은 모든 종류의 100mm 웨이퍼를 보유하고 있습니다. 아래의 프라임 및 테스트 등급 웨이퍼의 SEMI 표준 규격을 참조하시기 바랍니다. 모든 고객의 규격은 다르지만, SVM은 여러분들의 규격에 정확히 맞는 웨이퍼를 공급할수 있습니다.

만약, 필요하신 규격을 찾지 못하시면SVM에문의를 하셔서 풍부한 경험과 지식이 있는 저희 영업 사원과 상담하시기 바랍니다.

직경100 +/- 0.5 mm
타이프/불순물P/보론
방향<100>+/- 1º
등급테스트
비저항1 – 100 Ω-cm
방사성 비저항 변화
산소
탄소
금속물< 5 x E10 atoms/cm2
두께525 +/- 25 μm
TTV<= 10 μm
GTIR
보우/와프<= 50 μm
사이트 평평도
플렛2 SEMI 표준
파티클 갯수<= 50 @ >= 0.2 μm
폴리쉬한면 또는 양면연마
에치한면 또는 양면연마

 

* N 타이프 웨이퍼도 공급 가능