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SVM의 생산품은 단면 연마 웨이퍼 (SSP) 및 양면 연마 웨이퍼 (DSP) 기판을 포함합니다. 양면 연마 웨이퍼는 통상 MEMS, 반도체 및 기타의 고도의 평편도 특성이 요구되는 웨이퍼가 요구되는 공정등에 이용됩니다. 이들은 양면의 페터닝 및 디바이스 제조 목적으로 사용됩니다.

SVM은 50mm부터 300mm 까지의 모든 직경의 양면 연마 웨이퍼를 다량 보유하고 있습니다. 만약 저희 SVM에서 보유하고 있지않은 사양의 웨이퍼 규격이 필요하시면 저희는 원하시는 규격의 웨이퍼를 마춤 제조하여 드릴수 있습니다. 양면 웨이퍼는 실리콘, 유리 및 반도체에서 흔히 사용되는 다른 재료등으로 공급이 가능합니다.

 

 

다음은 SVM 표준 웨이퍼의 예입니다.

실리콘 웨이퍼SVM 표준 웨이퍼의 예입니다.
직경: 100mm직경: 200mm
타이프/불순물: N 또는 P타이프/불순물: N 또는 P
방향:방향:
비저항: 0-100 ohm-cm비저항: 0-100 ohm-cm
두께: 525 +/-20um두께: 725 +/-20um
TTV: <8umTTV: <5um
STIR: 요구시 제공 가능STIR: <2um
플렛: SEMI 규격으로 1 또는 2Notch: SEMI 표준
양면 연마양면 연마

 

모든 300mm 웨이퍼는 양면 연마입니다. SVM은 사이트 평편도를 0.05um 이하 또는 이상, 사이트 크기를26mm x 8mm, 그리고100% PUA 를 제공합니다.

추가적인 정보나 양면 연마 웨이퍼에 대한 고객님의 현재의 요구에 대한 상담은SVM에 문의를이용하시기 바랍니다.