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SVM的生产线包括单面抛光与双面抛光晶圆基板。 双面抛光基板被广泛运用于半导体, 微机电, 与其它需要精密控制厚度的组件。 双面图案与组件制程项目也需要双面抛光晶圆片。

SVM有各种库存的双面抛光晶圆片, 直径从50毫米至300毫米。 如果SVM的库存没有您需要的规格, 我们可为您订作特殊需求的晶圆片。 双面抛光晶圆片有硅, 玻璃, 与其它半导体常用的材料供您选择。

 

 

 

下列为SVM标准产品的范例:

硅晶圆片硅晶圆片
直径: 100毫米直径: 200毫米
晶向: <100>晶向: <100>
电阻值: 0-100欧姆-厘米电阻值: 0-100欧姆-厘米
厚度: 525 +/-20微米厚度: 725 +/-20微米
厚度变化: <8微米厚度变化: <5微米
局部平整: 依要求提供局部平整: <2微米
平整度: 1或2 SEMI标准凹口: SEMI标准
双面抛光双面抛光

 

所有300毫米的硅晶圆片都是双面抛光。 SVM提供局部平整量测小至<0.05微米或更大, 局部规格26毫米x8毫米, 100%可利用。

如想知道更多讯息请与我们联系。